chemische Abscheidung aus der Silan-Gasphase

chemische Abscheidung aus der Silan-Gasphase
cheminis nusodinimas iš silano garų statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. silane chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Silan-Gasphase, f rus. химическое осаждение из паровой фазы силана, n pranc. dépôt chimique en phase vapeur de silane, m

Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. . 2000.

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