chemische Abscheidung aus der Silan-Gasphase
- chemische Abscheidung aus der Silan-Gasphase
- cheminis nusodinimas iš silano garų
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. silane chemical vapor deposition
vok. chemische Abscheidung aus der Silan-Gasphase, f
rus. химическое осаждение из паровой фазы силана, n
pranc. dépôt chimique en phase vapeur de silane, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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